濺射離子泵優點和缺點

綜述所述，我們大致可以了解到濺射離子泵是一種結構簡單、使用便利的真空泵設備，它擁有離子泵的基本特點，但是同時也弱點，每種產品都存在多多少少的不足，但是相信隨著我國真空泵的發展，濺射離子泵也會隨著進步。只要相關專業人士也業內人士持續關注和不斷創新，濺射離子泵在真空泵界中會有屬于自己的輝煌明天。

濺射離子泵除了具有離子泵所具備的無油、超真空、無噪音等特點，它的工作壓強可非常低，因此它可以可控熱核反應裝置、各種粒子加速裝置的真空設備中使用。但是濺射離子泵也存在不足，這些不足導致了濺射離子泵的使用受到一定的局限性。

接下來主要介紹濺射離子泵的優點和缺點：

濺射離子泵的優點：

1、濺射離子泵在工作過程中偶然暴露于大氣不會損壞，

2、結構簡單，操作維護容易；

3、濺射離子泵無油污染,高真空時耗電量少，能安裝在容器的任何位置上；

濺射離子泵的缺點：

1、濺射離子泵必須在10-2帕左右壓力下啟動,否則因離子流過大而使泵發熱；

2、離子泵泵體重裝后存在比較多不穩定因素；

3、濺射離子泵長期使用會使吸氣劑鈦產生飽和, 使真空質量變差；