分子真空泵工作原理及結構圖

隨著我國的經濟不斷的發展，對于真空泵領域來說，其面臨著巨大的市場，同時也需要面對巨大的挑戰，如何能夠讓這些產品適應我們經濟的發展，對于各類產品而言，了解其工作原理是最基礎的工作。相關工作人員可以進一步研究相關的課題。

分子真空泵的抽氣原理主要是利用了動量傳遞原理，使分子做定向流動而氣體被排出泵外，從而實現抽氣的目的。了解分子真空泵的工作原理對于最高效率的使用這款產品意義非凡，接下來主要介紹分子真空泵是如何進行工作。

分子真空泵在電機的帶動下做高速旋轉，采用變頻電源驅動電機，這樣的目的是希望能夠實現較高的轉速。在分子流區域內，氣體分子與高速轉到的葉片表面碰撞，動量傳遞給氣體分子，使部分氣體分子在剛體表面的運動方向上，產生定向流動而被排出泵外，從而達到抽氣的目的。

通常把用高速運動的剛體表面攜帶氣體分子，并使其按一定方向運動的現象稱為分子牽引現象，利用這一現象制成的真空泵稱為牽引分子真空泵。牽引分子真空泵的優點是啟動時間短，在分子流態下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸氣，特別適于抽除較重的氣體。但由于牽引分子真空泵抽速小，密封間隙太小，工作可靠性較差，易出機械故降，而且制造困難，實際上很少應用。后來對牽引分子真空泵進行了改進，出現了渦輪分子真空泵。

渦輪分子真空泵內有多組相間動輪葉和定輪葉，每一個輪葉上有許多按一定角度斜置的葉片，。實際的渦輪分子真空泵都是由多級葉列串聯組成，即按動片、定片、動片等依次交替排列。動葉片轉動時又類似于電風扇葉片的作用，能將氣體從一側抽到另一側。提高分子真空泵的轉速，有利于提高分子真空泵的抽速。由于葉片轉速限制，如果氣體分子運動速度較大，泵抽真空就比較困難。渦輪分子真空泵極限真空比擴散泵要更高，可達10-8pa。但是其正常工作時需要一定的前級真空度，其真空度高低視泵不同略有差異。